| 1 | 设备型号 | GY1200L |
| 2 | 设备结构 | Inline 结构（多个过渡腔+工艺腔） |
| 3 | 传输方式 | 磁力轮传输 |
| 4 | 工艺腔配置 | 线源/点源 |
| 5 | 真空泵组 | 采用「机械泵+分子泵」组合 |
| 6 | 基板尺寸 | 600mm×1200mm 基板 |
| 7 | 自动化功能 | 一键实现全自动抽真空、充气、基片旋转、开闸板阀、真空机械手取放片、升降温、蒸镀、挡板开合 |
| 8 | 膜厚特性 | 不均匀性 ≤ 3%，膜厚再现性 ≤ 5%，速率稳定性 ≤ 3% |
| 9 | 节拍 | 1 min/载板 |
| 10 | 可蒸镀材料 | C60/BCP/LiF/MgF₂/FAI/MAI/PbI₂/PbCl₂/CsBr/Ag/Cu/Al/Au |
