| 序号 | 项目 | 详细 |
|---|---|---|
| 1 | 设备型号 | GY600D-S8 |
| 2 | 设备结构 | 双腔蒸镀机（工艺腔+过渡腔）（带真空机械手） |
| 3 | 样品架 | 可升降、旋转样品台，最大承载 1 片 300mm×400mm 基板 |
| 4 | 蒸发源配置 | 配置 4 组蒸发源 |
| 5 | 真空泵组 | 采用「机械泵+分子泵」组合 |
| 6 | 速率监测 | 1 台膜厚仪，4 组晶振探头，可实现 4 源共蒸 |
| 7 | 自动化功能 | 一键实现全自动抽真空、充气、基片旋转、开闸板阀、真空机械手取放片、升降温、蒸镀、挡板开合 |
| 8 | 膜厚特性 | 不均匀性 ≤ 3%，膜厚再现性 ≤ 5%，速率稳定性 ≤ 3% |
| 9 | 节拍 | 18 min/载板 |
| 10 | 可蒸镀材料 | C60/BCP/LiF/MgF₂/PbI₂/PbCl₂/CsBr/Ag/Cu/Al/Au |