装备产品

序号	项目	详细
1	设备型号	GY600C-P8
2	设备结构	八角传输腔+多个工艺腔
3	传输方式	真空机械手
4	工艺腔配置	可配置 3-8 个不同类型的蒸镀/磁控/ALD/PECVD 等工艺腔
5	真空泵组	采用「机械泵+分子泵」组合
6	基板尺寸	300mm×300mm 基板
7	自动化功能	一键实现全自动抽真空、充气、基片旋转、开闸板阀、真空机械手取放片、升降温、蒸镀、挡板开合
8	膜厚特性	不均匀性 ≤ 3%，膜厚再现性 ≤ 5%，速率稳定性 ≤ 3%
9	节拍	30 min/载板

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