2026年10月9日至11日,第十二届钙钛矿材料与器件青年学者论坛在山东青岛举行。苏州光熠装备有限公司携面向科研与产业化应用的真空蒸镀装备方案参会,公司总经理宫英伟受邀作专题报告,与现场专家学者及产业界代表交流钙钛矿蒸镀装备的研发思路与应用实践。
本届论坛由中国科学院青岛生物能源与过程研究所、太阳能光电转化与利用全国重点实验室、青岛科技大学化学与分子工程学院主办,吸引了来自国内外170余所高校、科研机构及相关企业的千余名代表参会。论坛设置4个学术分会场,共安排190余场学术报告和80份墙报交流,并设立企业展览环节,围绕钙钛矿太阳能电池、发光二极管、探测器及产业化应用等方向展开交流。
论坛期间,宫英伟作题为《蒸镀工艺装备创新路径探索:面向科研与产业化的小型化、低成本、高通量蒸镀装备开发》的报告。报告结合高校和科研机构的实际使用场景,分析了实验室钙钛矿蒸镀面临的三个典型问题:传统设备占地面积较大,单腔设备实验节拍有限,以及FAI等有机盐蒸镀过程中的均匀性和重复性控制难度较高。

围绕这些问题,报告介绍了光熠装备针对不同科研需求开发的系列设备方案,包括手套箱蒸镀一体机、双腔高通量蒸镀设备和钙钛矿层蒸镀专用设备。
针对实验室空间有限、配套条件复杂的问题,光熠装备开发了手套箱与蒸镀系统一体化的紧凑型设备。该方案占地面积小于1平方米,支持110 mm × 110 mm以内基板,可配置4至6个蒸发源,适用于OLED、QLED、钙钛矿和探测器等研究方向。
针对多个学生共用设备、实验排队时间较长的问题,报告介绍了GY500DM双腔高通量蒸镀设备。该设备采用双腔结构和真空机械手,可在不破坏真空环境的情况下完成基片和掩膜版更换,支持210 mm × 210 mm有效蒸镀区域和多源精密共蒸,为批量实验、参数优化和数据统计提供装备支持。

针对FAI、MAI等有机盐容易受热分解,以及点源蒸发在较大基板上分布不均的问题,光熠装备开发了钙钛矿层蒸镀专用方案。GY500-S6通过FAI专用低温蒸发源和多源共蒸设计,提高有机盐蒸镀的稳定性与均匀性,适用于钙钛矿单结、叠层器件及相关干法工艺研究。
除实验室设备外,光熠装备还展示了Cluster团簇式设备和Inline连续式设备方案,覆盖从科研验证、中试开发到产业化量产的不同阶段。
论坛企业展览期间,光熠装备团队与高校、科研机构及产业界代表围绕设备配置、蒸发源设计、膜厚控制和自动化传输等问题进行了交流,进一步了解不同研究方向对蒸镀装备的实际需求。

未来,苏州光熠装备将继续围绕蒸发源、真空传输、膜厚控制和设备自动化开展研发,持续完善从实验室研发、中试验证到量产应用的真空蒸镀装备体系,为钙钛矿材料与器件研究及产业化提供装备和工艺支持。