关于我们

ABOUT US

苏州光熠装备有限公司成立于2024年,坐落于昆山市,是专注于高端真空镀膜设备研发、生产、销售及工艺配套的科技型企业,致力于成为真空镀膜、泛半导体技术服务、非标定制领域的优秀供应商,推动中国高端真空镀膜设备技术自主化。

2024.12 公司正式成立,布局高端真空镀膜设备领域
2025.05 完成首款核心样机研发,实现技术落地
2025.06 首台套高节拍设备出货,开启商业化进程
2025.08 通过 ISO 质量管理体系 & 环境管理体系双认证
2025.09 江苏省科技型企业认证,技术实力获官方认可
2025.11 新型机型完成开发,加速产能扩张与技术研发
2026.04 推进 Inline 大尺寸镀膜设备项目研发,布局下一代镀膜核心技术

核心优势

ADVANTAGES

✅ 资深团队:汇聚机械、电控、自动化、钙钛矿工艺、真空等领域顶尖专家,资深技术专家拥有 20 年以上蒸镀机设计及产业化经验,核心团队平均行业经验超 10 年。

✅ 全链能力:具备研发、中试及量产设备全流程设计制造能力,提供从产品设计、生产制造到售后服务、工艺配套的一站式产业化解决方案。

✅ 丰富出货经验:团队近 5 年累计完成 400+ 台套镀膜设备出货,服务客户覆盖光伏、面板、泛半导体企业及各大高校、科研院所。

✅ 定制化服务:可提供桌面 - 单腔 - 多腔 - 团簇 - Inline 等各形式设备,支持设备改造与技术创新,精准匹配客户个性化需求。

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产品中心

PRODUCTS

双腔体高通量真空蒸镀机 产品图

双腔体高通量真空蒸镀机

双腔结构、高通量节拍,4 源共蒸与全自动流程,膜厚指标可量化。

单腔体真空蒸镀机 产品图

单腔体真空蒸镀机

单腔结构、8 组蒸发源,膜厚监测与全自动流程,节拍与材料范围见详情规格表。

晶硅叠层钙钛矿干法蒸镀机 产品图

晶硅叠层钙钛矿干法蒸镀机

双腔+真空传输杆,6 组蒸发源与防腐蚀分子泵方案,适配叠层钙钛矿干法蒸镀工艺。

桌面式蒸镀机 产品图

桌面式蒸镀机

桌面型单腔、6 组蒸发源,最大 6 英寸基板,适合实验室与中试桌面部署。

团簇式真空镀膜设备 产品图

团簇式真空镀膜设备

八角传输腔与多工艺腔模块化组合,真空机械手传片,可集成蒸镀、磁控、ALD、PECVD 等。

连续式蒸发镀膜设备 产品图

连续式蒸发镀膜设备

Inline 多腔连线、磁力轮传输,适配大尺寸基板与高通量节拍,线源/点源可配置。

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